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光刻机
清华大学团队在EUV光刻材料上取得重要进展 为下一代EUV光刻胶开发提供可行路径
2025-07-26
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绕开光刻机“卡脖子”!北大研制出新型芯片 可在28纳米及以上成熟工艺量产
2025-12-30
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