上海微电子中标一台步进扫描式光刻机 金额约1.1亿元 日期:2025-12-25 14:35 点击数:29 【上海微电子中标一台步进扫描式光刻机 金额约1.1亿元】据中国政府采购网公示,上海微电子装备(集团)股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目,设备数量为一台,成交金额10999.985万元。(中国政府采购网) 标签: R22 光刻机 光刻胶