芯上微装第500台步进光刻机成功交付 日期：2025-08-08 18:27 点击数：35 【芯上微装第500台步进光刻机成功交付】8月8日，上海芯上微装科技股份有限公司举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的第500台步进光刻机将交付给盛合晶微，后者是集成电路晶圆级先进封测企业。（芯上微装） 标签： 集成电路 光刻机 芯片 半导体
